Vakuuminiai siurbliai yra būtini prietaisai daugelyje pramonės šakų, nuo mokslinių tyrimų iki gamybos ir net kasdieniuose prietaisuose. Jų pagrindinis tikslas yra pašalinti dujų molekules iš sandaraus tūrio ir taip sukurti vakuumą. Nors galutinis tikslas yra tas pats, šiam tikslui pasiekti naudojami metodai labai skiriasi, todėl galima klasifikuotivakuuminiai siurbliaipagal veikimo principus skirstomi į tris pagrindinius tipus. Norint pasirinkti tinkamą siurblį konkrečiam pritaikymui, labai svarbu suprasti šiuos skirtumus.
1 tipas: tūriniai siurbliai
Teigiamo tūrio siurbliai yra bene intuityviausias vakuuminių siurblių tipas, pasižymintis mechaniniu poveikiu sulaikant ir išstumiant dujas.
Darbo principas
Mechaninis įstrigimas ir išstūmimas
Šie siurbliai veikia mechaniškai surenkant fiksuotą dujų tūrį iš įleidimo angos, jas suspaudžiant ir išleidžiant per išleidimo angą. Šis procesas yra cikliškas, su kiekvienu smūgiu ar sukimu judinamas atskiras dujų kiekis. Įprasti mechanizmai yra stūmokliai, besisukančios mentės arba diafragmos.
Tinka šiurkščiam ir vidutiniam vakuumui
Teigiamo tūrio siurbliaiyra labai veiksmingi nuo atmosferos slėgio iki vidutinio vakuumo. Jie dažnai naudojami kaip pirminiai siurbliai, siekiant sumažinti slėgį, kol kitų tipų siurbliai gali perimti didesnį vakuumo lygį.
Tipiški pavyzdžiai ir taikymas
Įprasti tipai: rotacinės mentelės, membranos, stūmokliniai siurbliai
Pavyzdžiai: sukamieji mentiniai siurbliai, kuriuose naudojamas besisukantis ekscentrinis rotorius su mentelėmis dujoms valyti irdiafragminiai siurbliai, kurie naudoja lanksčią diafragmą siurbimui ir suspaudimui sukurti. Stūmokliniai siurbliai taip pat patenka į šią kategoriją.
PinMotor mikro oro siurbliai
Mikro{0}}siurblių sektoriuje „PinMotor's“.mikro oro siurbliai, įskaitantmikro vakuuminiai siurbliai, yra puikūs teigiamo poslinkio technologijos pavyzdžiai. Šie kompaktiški ir efektyvūs siurbliai plačiai naudojami medicinos prietaisuose, analitiniuose prietaisuose ir aplinkos stebėjimo įrangoje, kur užtikrina tikslų neigiamą slėgį arba palengvina dujų perdavimą miniatiūrinėse sistemose.
2 tipas: „Momentum“ perdavimo siurbliai
Impulso perdavimo siurbliai veikia kitokiu principu – jie priklauso nuo didelio greičio{0}}srovės kinetinės energijos, kad judėtų dujų molekulės.
Darbo principas
Didelio{0}}greičio molekuliniai susidūrimai
Šie siurbliai veikia į vakuuminę kamerą įvesdami didelio{0}}greičio skysčio (dažnai alyvos garų arba greitai besisukančių peilių) srovę. Dujų molekulės, patenkančios į siurblį, susiduria su šiuo didelio greičio srove, įgydamos pagreitį ir taip nukreipiamos į siurblio išmetamąsias dujas, toliau nuo vakuuminės kameros.
Tinka nuo didelio iki itin{0}}didelio vakuumo
Impulso perdavimo siurbliai yra veiksmingiausi esant mažesniam slėgiui ir paprastai naudojami norint pasiekti aukštą ir ypač aukštą{0}}vakuuminį lygį. Paprastai jiems reikia apriekinė-siurblys(tūrinis siurblys), kad pirmiausia sumažintumėte slėgį iki tokio lygio, kad impulso perdavimo siurblys galėtų efektyviai veikti.
Tipiški pavyzdžiai ir taikymas
Įprasti tipai: turbomolekuliniai siurbliai, difuziniai siurbliai
Turbomolekuliniuose siurbliuose naudojamos greitai besisukančios rotoriaus mentės, kad dujų molekulės suteiktų impulsą, o difuzijos siurbliai naudoja didelio{0}}greičio garų čiurkšles, kad įtrauktų dujų molekules. Abu yra labai svarbūs norint pasiekti labai žemą slėgį.
Taikymo sritys
Šie siurbliai yra būtini srityse, kuriose reikia ekstremalių vakuuminių sąlygų, pavyzdžiui, moksliniuose tyrimuose (pvz., dalelių greitintuvai, elektroniniai mikroskopai), puslaidininkių gamyba ir paviršiaus analizė.
3 tipas: fiksavimo / įstrigimo siurbliai
Surinkimo arba sulaikymo siurbliai veikia fiziškai pašalindami dujų molekules iš vakuuminės kameros adsorbcijos, kondensacijos ar cheminių reakcijų būdu.
Darbo principas
Fizinė adsorbcija arba cheminė reakcija
Skirtingai nuo kitų dviejų tipų, kurie fiziškai perkelia dujas, įstrigę siurbliaiužfiksuotidujų molekulės ant siurblio paviršiaus. Tai gali atsirasti dėl įvairių mechanizmų:kriopomposatvėsinti paviršius iki itin žemos temperatūros, dėl ko dujų molekulės kondensuojasi ir užšąla;jonų siurbliaijonizuoti dujų molekules ir pagreitinti jas į geterio medžiagą; irgeterių siurbliainaudoti chemiškai reaguojančias medžiagas dujų molekulėms absorbuoti.
Tinka itin{0}}aukštam vakuumui
Šie siurbliai yra ypač veiksmingi siekiant ir palaikant itin -aukšto vakuumo (UHV) ir itin didelio-aukšto vakuumo (XUHV) lygius, nes į vakuuminę aplinką nepatenka jokių judančių dalių ar darbinių skysčių.
Tipiški pavyzdžiai ir taikymas
Įprasti tipai: kriosiurbliai, jonų siurbliai, geterio siurbliai
Kriosiurbliai plačiai naudojami puslaidininkių apdorojimo ir erdvės modeliavimo kamerose. Jonų siurbliai mėgstami dėl švaraus, nevibruojamo{1}} veikimo tokiose programose kaip dalelių greitintuvai ir paviršiaus mokslas. Getteriniai siurbliai dažnai naudojami kaip papildomi siurbliai vakuumo lygiui palaikyti.
Taikymo sritys
Pagrindiniai jų panaudojimo būdai yra labai jautrioje aplinkoje, kur reikalingas kuo mažesnis slėgis ir švariausias vakuumas, pavyzdžiui, atliekant pažangius medžiagų tyrimus, nusodinant ploną{0} plėvelę ir atliekant branduolių sintezės energijos eksperimentus.
Išvada: tinkamos vakuuminės technologijos pasirinkimas
Tinkamo vakuuminio siurblio pasirinkimas yra labai svarbus sprendimas, kuris priklauso nuo kelių veiksnių, įskaitant norimą vakuumo lygį, siurbimo greitį, evakuojamų dujų tipą, sąnaudas ir konkrečią naudojimo aplinką. Kiekvieno tipo vakuuminis siurblys-teigiamas poslinkis, impulso perdavimas ir fiksavimas-puikiai tinka įvairiems vakuumo diapazonams ir pritaikymams.